연구업적
연구수탁 (최근 3년간의 실적)
테이블 이름 - 년도 및 제목
년도
제목
2024-01-01
[RCMS]수 nm급 반도체 디바이스 제조 장비에서의 파티클 발생을 억제하기 위한 고밀도 Y2O3-δ 코팅 기술 개발(4-4차년도)